بخشهای دستگاه
| نام | مشخصات/شماره قطعه | تعداد |
| ریل اپتیکی | به طول 1mو انودیزه شدة مشکی | 1 |
| حامل | LEPO-54-2 | 2 |
| حامل ( انتقال X ) | LEPO-54-3 | 2 |
| حامل ( انتقال X-Z ) | LEPO-54-4 | 1 |
| پایه اندازه گیری عرضی | حرکت: 80mm ، دقت: 0.01mm | 1 |
| لیزر هلیم- نئون | 1.5mW@632.8nm | 1 |
| نگهدارنده لیزر | LEPO-44 | 1 |
| نگهدارنده عدسی | LEPO-9 | 2 |
| نگهدارنده صفحه | LEPO-13 | 1 |
| صفحه سفید | LEPO-14 | 1 |
| عدسی | f=6.2,150mm | هرکدام 1 عدد |
| شکاف قابل تنظیم | 0~2mm قابل تنظیم | 1 |
| صفحه چند شکافه | 4,3,2 و 5 شکاف | 1 |
| صفحه چند سوراخه | 1 | |
| توری انتقال | 20Ɩ/mm ، نصب شده | 1 |
| تقویت کننده جریان نوری | 1 ست | |
| روزنه هم تراز | 1 |
